富士テクノ工業株式会社(富士技术工业株式会社 Fuji‑Techno Kogyo)
核心产品:
1、内接摆线齿轮泵
• 型号系列:FTP系列,摆线转子结构
• 参数:压力0.5‑4MPa,流量1.4‑117L/min,耐温‑5~200℃
• 特点:结构紧凑、脉动小;输送润滑油、液压油、高粘度介质
• 用途:半导体设备液压单元、机床、工程机械、液压供油循环。
2、无脉动计量泵
三柱塞往复式,超高精度定量吐出,几乎无脉动。
• 半导体药液、化学试剂、树脂、胶水定量供给;点胶、药液配比工艺。
• 优势:流量稳定,适合微量精密流体输送。
3、磁力泵
无密封磁力驱动,零泄漏。
• 耐腐蚀化学液输送;温度最高300℃;半导体、化工流体回路。
4、内接齿轮液压马达
小型大扭矩低速液压马达。
• 工程机械、输送机构、设备旋转驱动模块。
半导体行业应用场景
1. 设备液压动力单元供油
2. 化学药液、胶水精密定量输送
3. 冷却油、润滑油循环输送
4. 流体配比、点胶系统配套泵件