NPM日脉 线性伺服电机 SPS100TD-050

NPM日脉  线性伺服电机  SPS100TD-050

NPM日脉  线性伺服电机  SPS100TD-050

一、核心定位与特点

• 纳米级定位精度：分辨率最高0.0025μm（2.5nm），重复定位精度 **±0.3μm**，媲美压电平台。

• 无芯直线电机驱动：无齿槽、无摩擦、无背隙，推力平稳、响应快、低噪音、长寿命。

• 交叉滚柱导轨导向：刚性高、摩擦极小、运动平稳，适合超精密定位。

• 轻载短行程：最大负载30kg，行程50–150mm，适配精密微操作。

• 免维护：无机械磨损部件，适合洁净室与连续生产。

• 即装即用：电机、导轨、编码器、滑块一体化，无需额外设计导向机构。

二、型号与命名规则

型号命名

• 100：平台系列号

• TD：无芯直线电机 + 交叉滚柱导轨

• XXX：行程（mm，50/100/150）

主要型号

• SPS100TD-050：行程 50mm，总质量 0.97kg

• SPS100TD-100：行程 100mm，总质量 1.33kg

• SPS100TD-150：行程 150mm，总质量 1.70kg

三、统一电气与性能参数

• 额定推力：6.8N

• 额定电流：1.1A

• 力常数：6.2N/A

• 编码器分辨率：0.0025μm–1μm（可选）

• 重复定位精度：±0.3μm

• 最大速度：约 500mm/s（精密定位场景常用 100mm/s 以内）

• 最大加速度：约 0.5G

• 水平最大负载：30kg

• 工作温度：0–40℃

• 湿度：20–80%（无凝露）

• 防护：可选防尘盖，适配洁净环境

四、机械规格（通用）

• 平台尺寸：紧凑轻量化设计，适配精密设备集成

• 安装：底部标准螺孔，支持桌面 / 设备内安装

• 导轨：交叉滚柱导轨，零间隙、高刚性

• 防护：可选配防尘盖，延长使用寿命

五、应用场景

• 半导体 / 微电子：晶圆检测、芯片探针台、微装配、光刻对位

• 光学仪器：激光定位、显微镜载物台、光学检测、干涉仪

• 精密测量：三坐标测量、轮廓仪、表面形貌检测

• 医疗设备：样本分析、精密手术器械、生物芯片检测

• 自动化产线：微点胶、微焊接、精密分拣、微小零件装配

六、选型要点

• 行程：按需求选 50/100/150mm，优先短行程以保证精度

• 负载：水平≤30kg，避免过载影响定位精度

• 分辨率：常规选 1μm，超精密场景选 0.0025μm

• 环境：优先洁净环境，可选防尘盖提升耐用性