OTSUKA大塚电子 测量仪器 线扫描膜厚仪离线
OTSUKA大塚电子 测量仪器 线扫描膜厚仪离线
产品信息
特点
● 全面高速高精度进行薄膜等面内膜厚不均一性检测
● 硬件&软件均为创新设计
● 作为专业膜厚测定厂商，提供多种支援
● 实现高精度测量（已取得专利）
● 实现高速测量（500万点以上/分）
产品规格
| 测量范围 | 0.1～300 μm |
| 测量宽度 | 250 mm |
| 测量间隔 | 1 ms～ |
| 设备尺寸(W×D×H) | 459×609×927 mm |
| 重量 | 60 kg |
| 功耗 | AC100 V±10% 125 VA |