OTSUKA大塚电子  测量仪器   SF-3

OTSUKA大塚电子  测量仪器   SF-3



规格式样


SF-3

膜厚测量范围

0.1 μm ~ 1600 μm※1

膜厚精度

±0.1% 以下

重复精度

0.001% 以下

测量时间

10msec 以下

测量光源

半导体光源

测量口径

φ27μm※2

WD

3 mm ~ 200 mm

测量时间

10msec 以下