OTSUKA大塚电子 测量仪器 GS-300
OTSUKA大塚电子 测量仪器 GS-300
特点
规格
| 自动Mapping系统式样表 | |||
| 名称 | 自动Mapping系统 | Load Port对应膜厚仪 | |
| 型式 | - | - | GS-300 series |
| 样品台方式 | X-Y样品台 | R-θ样品台 | |
| 光学系 | 测量探头 CCD相机 | 同轴显微测量头 IR相机 | |
| 最大晶圆尺寸 | 150mm以下 | 300mm以下 | 仅Ф300mm |
| 晶圆角度补正 | 有 | ||
| Pattern对准 | 有 | ||
| 晶圆厚度范围 | 视分光干涉式晶圆厚度传感器的式样而定 | ||
| 设备尺寸（W×D×H)mm | 本体:570x600x780 控制器:500x273x177 (PC、显示器尺寸除外) | 本体:773x760x600 控制器:350x310x120 LED电源:90x160x80 (PC、显示器尺寸除外) | 500x500x1680 内置PC （显示器、键盘尺寸除外） |