MIYUKI美幸辉 GH-I400 真空门阀

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MIYUKI美幸辉 GH-I400 真空门阀

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MIYUKI美幸辉 GH-I400 真空门阀MIYUKI美幸辉 GH-I400 真空门阀执行器的位置设计是为了缩短轮廓。它对反压具有极佳的密封性能。特点1 一个阀门用于主排气和流量调节。 它有一个子气缸，可以任意设置气门开启度数。2虽然气缸体积小，但闭合时推力加倍（密封），并在行程末端…

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MIYUKI美幸辉 GH-I400 真空门阀

MIYUKI美幸辉 GH-I400 真空门阀

执行器的位置设计是为了缩短轮廓。它对反压具有极佳的密封性能。

特点

1 一个阀门用于主排气和流量调节。 它有一个子气缸，可以任意设置气门开启度数。

2虽然气缸体积小，但闭合时推力加倍（密封），并在行程末端实现气垫效应（减震）。

3阀体密封机构因球压均匀而在反压下具有极佳的可靠性。

4不锈钢外壳由真空轧制的磨料板制成，消除内表面的死角并减少逸气。

5组装和检查在无尘室内进行。

法兰类型

JIS，ISO，CF

标称直径

70A ~ 500A （毫米）

泄漏
容积（壳体）（
阀座）

 
1×10-11 Pa・m3/s
或更少 1×10-10 Pa・m3/s或更短

应用领域

105~10-6 爸

气体接触部件材料

SUS304

轴封

氟橡胶O型圈

传动系统

空气驱动

工作气压

0.4~0.6 MPaG

开盘和闭合指示

带微动开关（开关以检测位置）