KOFLOC 科赋乐 MODEL 8900 SERIES 质量流量控制器

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KOFLOC 科赋乐 MODEL 8900 SERIES 质量流量控制器

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KOFLOC 科赋乐 MODEL 8900 SERIES 质量流量控制器KOFLOC 科赋乐 MODEL 8900 SERIES 质量流量控制器支持15~24VDC宽频电源模拟输出/输入0-5VDC/4-20mA可选标准规格传感器热式绕组传感器阀门电磁比例阀（断电时 关闭）对象气体N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等流量范围（…

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KOFLOC 科赋乐  MODEL 8900 SERIES  质量流量控制器

KOFLOC 科赋乐  MODEL 8900 SERIES  质量流量控制器


支持15~24VDC宽频电源

模拟输出/输入0-5VDC/4-20mA可选

标准规格

传感器热式绕组传感器
阀门电磁比例阀（断电时 关闭）
对象气体N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等
流量范围（N2换算）10SCCM～20SLM
控制范围2～100%F.S.
响应性2sec以内（within±2%F.S.）
精度±1%F.S.（25℃）
温度系数±0.1%F.S./℃（15～35℃）
重现性±0.5%F.S.
动作压差F.S.≦5SLM 50～300kPa、F.S.＞5SLM 100～300kPa
入口最大圧・耐圧500kPa(G)
耐圧1MPa(G)
He泄漏率1×10-8Pa・m3/sec以下
允许环境温度5～45℃
允许保存温度-10～60℃
允许周围湿度10～90%RH（未出现冷凝）
与气体接触的材质SUS316L,SUS316,磁性不锈钢,FKM(可选:NBR,CR)
電気接続D-sub9九针 KFC standard（依据SEMI standard）
模拟流量设定信号0～5VDC（输入Z,1MΩ以上）or 4～20mA（输入Z,250Ω）
模拟流量输出信号0～5VDC（负载电阻250kΩ以上）or 4～20mA（负载电阻300Ω以下）
电源+15VDC（±5%）100mA、-15VDC（±5%）250mA


or　24VDC（±10%）450mA

外部尺寸宽32mm × 高100mm(包含连接部）× 平面76mm(不包含接头)
接头（本体口径）标准：1/4SWL、可选：1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4（9/16-18UNF）
重量约1,000g