KOFLOC 科赋乐 ST-550 质量流量控制器

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KOFLOC 科赋乐 ST-550 质量流量控制器

KOFLOC 科赋乐 ST-550 质量流量控制器

KOFLOC 科赋乐 ST-550 质量流量控制器KOFLOC 科赋乐 ST-550 质量流量控制器采用隔膜式的全金属密封MFC，经过EP处理以及氧化覆膜处理，可以对应腐蚀性流体。可选通讯:RS485,DeviceNet@,EtherCAT@IGS W型密封圈接头使用S.P.精度高精度计测、全流量控制范围响应性1sec以内…

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Product Detail

KOFLOC 科赋乐 ST-550  质量流量控制器

KOFLOC 科赋乐 ST-550  质量流量控制器

采用隔膜式的全金属密封MFC，经过EP处理以及氧化覆膜处理，可以对应腐蚀性流体。

可选通讯:RS485,DeviceNet@,EtherCAT@

IGS W型密封圈接头

使用S.P.精度高精度计测、全流量控制范围响应性1sec以内

可使用专用软件进行量程切换(30~110%F.S.)

标准规格

传感器类型热式绕组传感器
阀门比例电磁阀（断电时关闭）
流量量程(N₂換算)

10SCCM～10SLM

30SLM
控制范围2～100%F.S.
响应性1sec以内
精度±1%S.P.(10～100%F.S.)
±0.1%F.S.(2～10%F.S.)
重现性±0.2%F.S
动作压差

50～300kPa

200～300kPa
入口最大压力300kPa(G)
耐压1MPa(G)
He泄漏率1×10-11Pa・m3/sec以下
允许环境温度5～50℃
精度保证温度15～40℃
允许保存温度0～60℃
允许环境温度0～80%RH(未出现冷凝)
接触气体部位材质SUS316L、PTFE、Au、Co-Ni
通讯接口(只限RS485)D-sub9pin、RJ45×2
流量设定信号(只限RS485)0～5VDC（输入阻抗约1MΩ）
or 4～20mA（输入阻抗约約250Ω）
流量出力信号(只限RS485)0～5VDC(负载电阻10kΩ以上)
or 4～20mA(负载电阻500Ω以下)
数字通信RS485/DeviceNet®/EtherCAT®
电源11～25VDC(5VA max)
接头・平面尺寸1.125”W型92mm
1/4”VCR相当
重量约1,000g