KOFLOC 科赋乐 ST-500 质量流量控制器

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KOFLOC 科赋乐 ST-500 质量流量控制器

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KOFLOC 科赋乐 ST-500 质量流量控制器KOFLOC 科赋乐 ST-500 质量流量控制器 PI…Pressure Insensitive 压力变动也可控制流量稳定 采用隔膜式的全金属密封MFC, 经过EP 处理以及氧化覆膜处理， 可以对应腐蚀性流体 DeviceNet・EtherCAT通信对应 W型密封圈接头 "使…

产品详情

Product Detail

KOFLOC 科赋乐 ST-500  质量流量控制器

KOFLOC 科赋乐 ST-500  质量流量控制器

 PI…Pressure Insensitive 压力变动也可控制流量稳定

  采用隔膜式的全金属密封MFC, 经过EP 处理以及氧化覆膜处理， 可以对应腐蚀性流体

  DeviceNet・EtherCAT通信对应

  W型密封圈接头

 "使用SP.精度高精度计测
全流量控制范围响应性1sec以内"

 可使用专用软件进行量程切换

标准规格

MODELST-500
传感器类型热式绕组传感器
阀 门比例电磁阀(断电时关闭)
流量量程(N2计算)100SCCM～10SLM30SLM
控制范围2～100%F.S.
响应性lsec以内
精度±1%S.P. (10～100%F.S.) ±0.1%F.S. (2～10%F.S.)
重现性±0.2%F.S.
动作压差50～300kPa200～300kPa
入口最大压力300kPa(G)
耐压1MPa(G)
PI机能Overshoot±2%F.S.
外部泄露率1×10-11Pa ·m3/sec以下
允许环境温度5～50℃
允许环境温度15～40℃
精度保证温度0～60℃
允许保存湿度0～80%RH(未出现冷凝)
接触气体部位材质SUS316L、PTFE、Au、Co-Ni
通讯接口DeviceNet M12(Male)5pin
电源11～25VDC(5VAmax)
接头尺寸

1.125”Wシール92mm
1/4VCR相当

重量约1000g