KOFLOC 科赋乐 HFC-303 质量流量控制器

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KOFLOC 科赋乐 HFC-303 质量流量控制器KOFLOC 科赋乐 HFC-303 质量流量控制器HFC-303是一种质量流量控制器，通过结合电磁式先导阀和为大流量控制开发的气动流量控制阀，可实现大流量的高精度气体控制，这在过去很难实现。作为HFC-203系列的后续产品，HFC-203系列已广泛应…

KOFLOC 科赋乐 HFC-303 质量流量控制器

HFC-303是一种质量流量控制器，通过结合电磁式先导阀和为大流量控制开发的气动流量控制阀，可实现大流量的高精度气体控制，这在过去很难实现。
作为HFC-203系列的后续产品，HFC-203系列已广泛应用于工业领域，是一种新型号，可实现更高的精度和高速响应。

· 采用两级控制阀，支持高达1000 SLM的高流量

· 即使流量大，也能实现±1.0％的高精度

· 确保传统型号的高速响应性能

· 如果流量超过1000 SLM，请与我们联系

标准规格

流量范围（N2转换20°C / 1 ATM）	100〜300 SLM（可选）	301〜1000 SLM（可选
传感器方式	热绕组传感器
阀门方式	比例螺线管阀门（未通电时关闭）
控制范围	2~100％（F.S.）	5~100％（F.S.）
准确性	±1％F.S.（25°C）
温度系数	0.1％F.S./°C（15~35°C）	0.2％F.S./°C（15~35°C）
再现性	±0.25%F.S.
压差	个人反应
耐压	3.4MPa（G）（HP选项6.8MPa（G））
He泄漏率（* 1）	1 x 10-7 Pa.m3/s以下
允许周围温度	5~45℃
允许环境湿度	10~90%RH（无结露）
气体接触材料	主体SUS316，Ni，SUS302
	隔膜FKM
	阀座FKM
	密封材料FKM（选件CR，Kallets）
电气连接	Dsub 15针
流量设定输入信号	0~5 VDC（输入阻抗1MΩ以上）
流量输出信号	0~5 VDC（外部负载电阻250kΩ以上）
所需电源	+15 VDC（±5％）150 mA， -15 VDC（±5％）300 mA
配件（车身尺寸）	标准1/2 SWL（3 / 4.16 UNF）	标准3/4 SWL（1.1 / 16.12 UNF）

（* 1）不含渗透。
长期渗透引起的泄漏量（参考值）为1×10.6Pa•m3 / sec以下。

警告

流量范围附带的规格（流量范围，精度，响应性等）是N2或空气转换中的规格。
另外，生产规格条件是初级侧小于300kPa，次级侧向大气开放。
有关压力条件，请另行咨询。

接线连接（D-sub 15PIN）

PIN	信号名称	PIN	信号名称
1	NC	9	电源-15VDC
2	NC	10	NC
3	NC	11	电源+ 15VDC
4	NC	12	电源COM
5	电源COM	13	NC
6	输出信号0-5V	14	设定信号
7	NC	15	NC
8	强制阀门打开/关闭

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接线连接（D-sub 15PIN）