KOFLOC 科赋乐 3100 质量流量控制器

产品目录

KOFLOC 科赋乐 3100 质量流量控制器

KOFLOC 科赋乐 3100 质量流量控制器

KOFLOC 科赋乐 3100 质量流量控制器KOFLOC 科赋乐 3100 质量流量控制器MODEL 3100系列是基于MODEL 3200系列开发的用于高精度流量测量的新型质量流量计。这种高级型号采用新型低压力毛细管流量传感器，可确保高速响应和长期稳定性。 配备温度跟踪式电流差检测型流量传感器…

产品详情

Product Detail

KOFLOC 科赋乐 3100 质量流量控制器

KOFLOC 科赋乐 3100 质量流量控制器

MODEL 3100系列是基于MODEL 3200系列开发的用于高精度流量测量的新型质量流量计。
这种高级型号采用新型低压力毛细管流量传感器，可确保高速响应和长期稳定性。

· 配备温度跟踪式电流差检测型流量传感器，实现高精度，高速响应

· F.S.1 SCCM微流量支持（SR选项）

 

标准规格

流量范围
（N2转换20°C / 1 ATM）		1SCCM~20SLM（可选）
传感器方式热绕组传感器
响应速度1秒内
准确性±1％FS（15~35°C）
再现性在±0.2％FS（20°C）内
耐压980kPa（G）
He泄漏率（* 1）1 x 10-8 Pa.m3/s以下
允许周围温度0~50℃
允许环境湿度10~90%RH（无结露）
气体接触材料车身SUS316L
密封材料FKM（选件CR或NBR或Kallets）
电气连接Dsub 9针KFC标准（符合SEMI标准）
流量输出信号0~5 VDC（外部负载电阻250kΩ以上）
所需电源+15 VDC（±5％）100 mA
-15 VDC（±5％）100 mA
接头
（体型）		标准1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF）
选项1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等
重量约800g