LINTEC琳得科 MC-7100C 质量流量控制器

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LINTEC琳得科 MC-7100C 质量流量控制器

LINTEC琳得科 MC-7100C 质量流量控制器

LINTEC琳得科 MC-7100C 质量流量控制器LINTEC琳得科 MC-7100C 质量流量控制器超高速质量流量控制器，响应时间为200毫秒。热传感器实现了100毫秒（典型）的高速流量控制。 林泰克独特的非接触式热流量传感器和压电控制阀实现了腐蚀性气体的超高速流量控制。流量精度1.0%…

产品详情

Product Detail

LINTEC琳得科  MC-7100C 质量流量控制器

LINTEC琳得科  MC-7100C 质量流量控制器


超高速质量流量控制器，响应时间为200毫秒。

热传感器实现了100毫秒（典型）的高速流量控制。 林泰克独特的非接触式热流量传感器和压电控制阀实现了腐蚀性气体的超高速流量控制。

流量精度±1.0%的高精度，数字通信方式可从DeviceNet和EtherCAT中选择。

超高速质量流量控制器，响应时间为200毫秒。

热传感器实现了100毫秒（典型）的高速流量控制。 林泰克独特的非接触式热流量传感器和压电控制阀实现了腐蚀性气体的超高速流量控制。

流量精度±1.0%的高精度，数字通信方式可从DeviceNet和EtherCAT中选择。

特色

使用场景

高速蚀刻工艺

在半导体制造过程中，需要在微型化的同时提高通量。 即使在控制反应气体流动的质量流量控制器中，缩短流量控制启动（上升）时间的需求也在不断增加。 超高速质量流量控制器[MC-7000]是一种非接触式热流量传感器，流量传感器与流量测量气体之间不接触，能够实现200毫秒的超高速响应。 非接触式设计允许对腐蚀性气体流量测量进行高速控制。

规格表

温度最小差压最大压差精度控制范围闵F.S.马克斯·F.S.印章
5~50°C50kPa300kPa±1%S.P.2~100%F.S.5SCCM20SLMAU