LINTEC琳得科 MC-5200C 质量流量控制器

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LINTEC琳得科 MC-5200C 质量流量控制器

LINTEC琳得科 MC-5200C 质量流量控制器

LINTEC琳得科 MC-5200C 质量流量控制器LINTEC琳得科 MC-5200C 质量流量控制器用于EtherCAT通信的高性能质量流量控制器。EtherCAT通信版本的半导体工艺高性能质量流量控制器。 它符合半半导体标准，可以通过EtherCAT通信控制，该通信用于加快半导体制造设备的传输系统速度…

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Product Detail

LINTEC琳得科 MC-5200C 质量流量控制器

LINTEC琳得科 MC-5200C 质量流量控制器

用于EtherCAT通信的高性能质量流量控制器。

EtherCAT通信版本的半导体工艺高性能质量流量控制器。 它符合半半导体标准，可以通过EtherCAT通信控制，该通信用于加快半导体制造设备的传输系统速度。

它配备了半导体制造过程中所需的金属密封装置，以及Lintec独特的环境温度补偿流量传感器作为标准配置，并可作为液化气体支持等选装配置加装。

特色

选项

  • 微流F.S.

  • 液化气体兼容

  • 宽域

EtherCAT通信设备的统一通信。

越来越多的半导体制造设备配备了EtherCAT通信（数字I/F），用于高速控制如机械臂等传输系统。EtherCAT通信节点为65,536个，MFC的所有测量系统和运动系统元素均可与EtherCAT通信统一。

规格表

温度最小差压最大压差精度控制范围闵F.S.马克斯·F.S.印章
15~35°C50kPa300kPa±1%S.P.2~100%F.S.10SCCM300SLMAU