LINTEC琳得科 MC-5200L 质量流量控制器

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LINTEC琳得科 MC-5200L 质量流量控制器

LINTEC琳得科 MC-5200L 质量流量控制器

LINTEC琳得科 MC-5200L 质量流量控制器LINTEC琳得科 MC-5200L 质量流量控制器DeviceNet通信兼容质量流量控制器。配备最新半导体制造设备的控制设备越来越多地在露天现场作业中通信，目的是实现高速控制和简化布线，而非模拟控制。林泰克是业内首家开发符合SEMI标准的MC-5…

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Product Detail

LINTEC琳得科 MC-5200L 质量流量控制器

LINTEC琳得科 MC-5200L 质量流量控制器


DeviceNet通信兼容质量流量控制器。

配备最新半导体制造设备的控制设备越来越多地在露天现场作业中通信，目的是实现高速控制和简化布线，而非模拟控制。

林泰克是业内首家
开发符合SEMI标准的MC-5000L质量流量控制器，用于DeviceNet™通信。该设备配备了半导体制造所需的金属密封和独特的环境温度补偿流量传感器。它还可用于液化气体支持等多种方案。

特色

· 命中率±1%S.P.

· 工作温度：5~50°C

· 金属封条

· 干净（保证粒子）

· 环境温度保证传感器

· DeviceNet™ 通信

选项

· 微流F.S.

· 液化气体兼容

· 宽域

简化布线

半导体器件正日益用于控制现场网络。 DeviceNet通信的MFC（MC-5000L）无需AD/DA转换器或IO板，降低成本并节省布线。

规格表

温度

最小差压

最大压差

精度

控制范围

闵F.S.

马克斯·F.S.

印章

5~50°C

50kPa

300kPa

±1%S.P.

2~100%F.S.

5SCCM

200SLM

AU