LINTEC琳得科 MC-3102L-TC 质量流量控制器

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LINTEC琳得科 MC-3102L-TC 质量流量控制器

LINTEC琳得科 MC-3102L-TC 质量流量控制器

LINTEC琳得科 MC-3102L-TC 质量流量控制器LINTEC琳得科 MC-3102L-TC 质量流量控制器流量控制 最大120C，高温质量流量控制器，适用于无电时最高150C的环境。通过分离加热的接触气体部分和对热敏感的基板部分，可以控制高温下的气体。用于阻滞块，密封材料为SUS-316L，…

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LINTEC琳得科 MC-3102L-TC   质量流量控制器

LINTEC琳得科 MC-3102L-TC   质量流量控制器

流量控制 最大120°C，高温质量流量控制器，适用于无电时最高150°C的环境。

通过分离加热的接触气体部分和对热敏感的基板部分，可以控制高温下的气体。

用于阻滞块，密封材料为SUS-316L，以兼容腐蚀性气体。

可选配置低压差规格以防止液化气体再液化，以及专用MFC加热加热接触气体部分的加热块。

特色

· 工作温度：最高120°C

· 金属封条

· 干净（保证粒子）

· RS-485 通信

选项

· 液化气体兼容

· 加热块

液化气体，昇华气体流量控制

CVD和ALD的原料气体不一定是室温和室压下的气体。 液体或固体原料通常在室温和室压下使用。 液体和固体在室温下产生的气体较少，这使得通过压差流动气体的MFC难以控制流量。 因此，原料罐加热并提高蒸汽压力，以产生压力差，以确保MFC的工作压力。 MC-3000L-TC具备高温控制和低压差作压力，非常适合液化和升华气体的流量控制。

规格表


温度

最小差压

最大压差

精度

控制范围

闵F.S.

马克斯·F.S.

印章

低

80~100°C

50kPa

300kPa

±1%联邦安全局

2~100%F.S.

10SCCM

25SLM

AU

高

100~120°C


50kPa

300kPa

±1%联邦安全局

2~100%F.S.

10SCCM

25SLM

AU