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LINTEC琳得科 MC-3102S 质量流量控制器
LINTEC琳得科 MC-3102S 质量流量控制器LINTEC琳得科 MC-3102S 质量流量控制器低压差质流量控制器，最低工作差压为800 Pa。该专有环境温度补偿传感器以低压降规格和1%华氏度精度降低压降。独特的压电执行阀，在低压差下实现精准流量控制和稳定性。特色 低压差（800Pa） …
产品详情
Product Detail
LINTEC琳得科 MC-3102S 质量流量控制器
LINTEC琳得科 MC-3102S 质量流量控制器
低压差质流量控制器，最低工作差压为800 Pa。
该专有环境温度补偿传感器以低压降规格和±1%华氏度精度降低压降。
独特的压电执行阀，在低压差下实现精准流量控制和稳定性。
特色
· 低压差（800Pa）
· 工作温度：5~50°C
· 金属封条
· 干净（保证粒子）
· RS-485 通信
选项
· 微流F.S.
使用场景
低蒸气压气体低温下的流量控制。
MC-3000S是一款低压差质量流量控制器，能够在室温下，当二次侧处于真空状态时，凭借其独特的低压降结构，控制液体原料如H2O的流量。 推荐用于伊藤溅射方法等，即将少量水蒸气送入真空室。 此外，即使是低蒸气压固体原料（如XeF2），也可以在室温下控制流量。
减压罐容器（SDS容器）的流量控制。
离子注入设备使用砷化氢和PH3等特殊气体，通常装在安全输送源（SDS）容器中，以确保安全稳定的供应。 SDS填充的罐压低于大气压，需要低压差和可控流量的最低控制（MFC）。 MC-3000S采用独特的低压降结构，允许在低至800 Pa（6 Torr）的压力差下进行流量控制。
规格表
温度 | 最小差压 | 最大压差 | 精度 | 控制范围 | 闵F.S. | 马克斯·F.S. | 印章 |
5~50°C | 800Pa | 133kPa | ±1%联邦安全局 | 2~100%F.S. | 2SCCM | 30SCCM | AU |