LINTEC琳得科 MM-3102L-TN 质量流量控制器LINTEC琳得科 MM-3102L-TN 质量流量控制器带流量测量的高温质量流量计(通电)最大120C,未通电时最大150C。通过分离加热的接触气体部分和电子板,可以在高温下使用。特色工作温度:最高120C金属封条干净(保证粒子)RS-485 通信…
LINTEC琳得科 MM-3102L-TN 质量流量控制器
LINTEC琳得科 MM-3102L-TN 质量流量控制器
带流量测量的高温质量流量计(通电)最大120°C,未通电时最大150°C。
通过分离加热的接触气体部分和电子板,可以在高温下使用。
工作温度:最高120°C
金属封条
干净(保证粒子)
RS-485 通信
加热块
| 温度 | 工作压力 | 精度 | 闵F.S. | 马克斯·F.S. | 印章 | |
| 低 | 80~120°C | 400kPa(D) | ±1%联邦安全局 | 10SCCM | 25SLM | AU |
| 高 | 100~120°C | 400kPa(D) | ±1%联邦安全局 | 10SCCM | 25SLM | AU |