LINTEC琳得科 CV-3102 质量流量控制器LINTEC琳得科 CV-3102 质量流量控制器安装在高性能质量流量控制器中的流量控制阀。外部通讯0~5V以调节阀门开度。 配备压电执行器的控制阀,实现高速气体流量和压力控制。SUS-316L块和金封条可实现腐蚀性气体的流量控制。特色工作温度…
LINTEC琳得科 CV-3102 质量流量控制器
安装在高性能质量流量控制器中的流量控制阀。
外部通讯0~5V以调节阀门开度。 配备压电执行器的控制阀,实现高速气体流量和压力控制。
SUS-316L块和金封条可实现腐蚀性气体的流量控制。
工作温度:0~50°C
金属封条
低压差
液化气体兼容
许多实验和制造工艺都需要恒定的腔室压力。 它可以通过结合压力表、PID控制器和CV-3000来控制,作为压力装置进行控制。