LINTEC琳得科 VU-0206N 蒸发器

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LINTEC琳得科 VU-0206N 蒸发器

LINTEC琳得科 VU-0206N 蒸发器

LINTEC琳得科 VU-0206N 蒸发器LINTEC琳得科 VU-0206N 蒸发器微流紧凑型液体蒸发器，带压电阀。一个能够实现高速高精度微流量控制的压电执行器安装在汽化室附近。 结构中低死容。TEOS：7克/分钟，H2O：0.5克/分钟，迷你蒸发器。 通过将载气（最大流量14SLM）与流量控制液体…

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Product Detail

LINTEC琳得科 VU-0206N 蒸发器

LINTEC琳得科 VU-0206N 蒸发器

微流紧凑型液体蒸发器，带压电阀。

一个能够实现高速高精度微流量控制的压电执行器安装在汽化室附近。 结构中低死容。

TEOS：7克/分钟，H2O：0.5克/分钟，迷你蒸发器。 通过将载气（最大流量14SLM）与流量控制液体混合并引入汽化室，实现稳定供应。

特色

使用场景

真空和大气条件下的小流量汽化

紧凑的机体即使在连续微流量下也能实现精准的气化供应。 无论次级压力条件如何，都能实现稳定的低流量汽化。

除了常用于半导体制造工艺的TEOS外，还可以供应TEB和TEPO等多种液体。 此外，蒸发器可以串联蒸发，同时供应多种液体。

最高温度载气流量最大水汽化流量最大TEOS汽化流量印章
160°C0.1~14SLM0.5克/分钟7克/分钟AU