LINTEC琳得科 VU-3000 蒸发器

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LINTEC琳得科 VU-3000 蒸发器

LINTEC琳得科 VU-3000 蒸发器

LINTEC琳得科 VU-3000 蒸发器LINTEC琳得科 VU-3000 蒸发器一个带有压电执行器的小型非载体蒸发器。压电执行器控制阀，能够在汽化室附近进行微流量控制和快速响应控制。流量控制的液体被扩散到网状过滤器中，并在汽化室中加热，以实现即使在小流量下也能保持稳定的汽化。…

产品详情

Product Detail

LINTEC琳得科  VU-3000 蒸发器

LINTEC琳得科  VU-3000 蒸发器

一个带有压电执行器的小型非载体蒸发器。

压电执行器控制阀，能够在汽化室附近进行微流量控制和快速响应控制。

流量控制的液体被扩散到网状过滤器中，并在汽化室中加热，以实现即使在小流量下也能保持稳定的汽化。

特色

使用场景

TEOS的非携带蒸发

基于高温MFC的非载流子汽化存在较小的缺点。VU-3100是LINTEC独特的非携带结构，尽管体积小，仍能提供非载流子蒸发，TEOS为5 g/min（538 SCCM）。

规格表

最高温度所需压力差最大TEOS汽化流量印章
150°C50~300kPa5克/分钟AU