LINTEC琳得科 HX-0020 燃气加热器

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LINTEC琳得科 HX-0020 燃气加热器

LINTEC琳得科 HX-0020 燃气加热器

LINTEC琳得科 HX-0020 燃气加热器LINTEC琳得科 HX-0020 燃气加热器紧凑的小气加热，最大加热温度为200C。特色紧凑设计，面间间距160毫米宽55毫米将N2气体10SLM加热至200C加热不会腐蚀接触气体成员（SUS316L）的气体是可能的也可以在真空或加压下使用ALD和CVD设备的热清洗…

产品详情

Product Detail

LINTEC琳得科 HX-0020 燃气加热器

LINTEC琳得科 HX-0020 燃气加热器

紧凑的小气加热，最大加热温度为200°C。

特色

  • 紧凑设计，面间间距160毫米×宽55毫米

  • 将N2气体10SLM加热至200°C

  • 加热不会腐蚀接触气体成员（SUS316L）的气体是可能的

  • 也可以在真空或加压下使用

ALD和CVD设备的热清洗

液化气体常用于如ALD和CVD等真空沉积，但用室温气体清洗可能导致温度冷却并冷凝，反之，清洗可能不足。 这就是热净化的作用。 紧凑型燃气加热器（HX-0020）的占地面积与MFC差别不大，最高可加热至200°C，非常适合热清洗真空沉积设备如ALD和CVD，因为它可加热至200°C，并在使用点附近加热气体。

规格表


流量（N2换算）压降（N2）耐受压力（G）服务温度气体接触部件材料
规格10SLM14kPa1MPa200°CSUS316L