Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG220F

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Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG220F

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Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG220FOsaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG220F吸气口法兰VG100CF100ISO-R100排气速度N2 (L/s)220N2(附加金属保护网) (L/s)210H2 (L/s)100最大压缩比N21108H24102极限压力Pa/Torr<110-6/<7.510-9最大气体流量※1N2 (sccm)400启动时…

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Product Detail

Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TG220F

Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TG220F


吸气口法兰VG100
CF100
ISO-R100
排气速度N2 (L/s)220
N2(附加金属保护网) (L/s)210
H2 (L/s)100
最大压缩比N21×108
H24×102
极限压力Pa/Torr<1×10-6/<7.5×10-9
最大气体流量※1N2 (sccm)400
启动时间(min) 1-1.2
停止时间(min)2.5-3.5
允许辅助压力(Pa/Torr)260/2
推荐辅助泵(L/min)≧80
安装角度任意
重量VG･ISO-R/CF(kg)4.2/6