Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG350F

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Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG350F

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Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG350FOsaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG350F吸气口法兰VG100CF100ISO-R100排气速度VG/ISO-R・CF N2 (L/s)350/330VG/ISO-R・CF N2(附加金属保护网) (L/s)330/310VG/ISO-R・CF H2 (L/s)210最大压缩比N21108H22103极限压力Pa/Torr<11…

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Product Detail

Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TG350F

Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TG350F


吸气口法兰VG100
CF100
ISO-R100
排气速度VG/ISO-R・CF N2 (L/s)350/330
VG/ISO-R・CF N2(附加金属保护网) (L/s)330/310
VG/ISO-R・CF H2 (L/s)210
最大压缩比N21×108
H22×103
极限压力Pa/Torr<1×10-6/<7.5×10-9
最大气体流量※1N2 (sccm)500
启动时间(min) 2-2.5
停止时间(min)5-6.5
允许辅助压力(Pa/Torr)260/2
推荐辅助泵(L/min)≧80
安装角度任意
重量VG･ISO-R/CF(kg)4.2/6