Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG450F

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Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG450F

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Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG450FOsaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG450F吸气口法兰VG150CF160ISO-R160排气速度N2(L/s)450N2(附加金属保护网) (L/s)430H2(L/s)240最大压缩比N21108H22103极限压力Pa/Torr<110-6/<7.510-9最大气体流量※1N2 (sccm)500启动时间…

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Product Detail

Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TG450F

Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TG450F


吸气口法兰VG150
CF160
ISO-R160
排气速度N2(L/s)450
N2(附加金属保护网) (L/s)430
H2(L/s)240
最大压缩比N21×108
H22×103
极限压力Pa/Torr<1×10-6/<7.5×10-9
最大气体流量※1N2 (sccm)500
启动时间(min) 2-2.5
停止时间(min)5-6.5
允许辅助压力(Pa/Torr)260/2
推荐辅助泵(L/min)≧80
安装角度自在
重量VG･ISO-B/CF(kg)7/10