Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG800F

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Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG800F

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Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG800FOsaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG800F型号TG800FTG800F*A*-60/TG800F*W*吸气口法兰 VG150/ISO-B160/CF160排气速度N2 (L/s)820N2(附带金属保护网) (L/s)750H2 (L/s)650最大压缩比N21108H21104极限压力(Pa/Torr)<110-6/<7.…

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Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TG800F

Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TG800F


型号TG800FTG800F*A*-60/TG800F*W*
吸气口法兰 VG150/ISO-B160/CF160
排气速度N2 (L/s)820
N2(附带金属保护网) (L/s)750
H2 (L/s)650
最大压缩比N21×108
H21×104
极限压力(Pa/Torr)<1×10-6/<7.5×10-9
最大气体流量※1※2(sccm)330860
启动时间※2(min) 7-95.5-7
停止时间※2(min) 27-3212-15
允许辅助压力(Pa/Torr)330/2.5
推荐辅助泵(L/min)≧250
安装角度自在
重量VG・ISO-B/CF(kg) 27/26
控制器型号TC1104TC1103※3