Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG1100F

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Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG1100F

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Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG1100FOsaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG1100F型号TG1100FTG1100F*A*-60/TG1100F*W*吸气口法兰VG200/ISO-B200/CF200排气速度N2 (L/s)1100N2(附带金属保护网) (L/s)1000H2 (L/s)720最大压缩比N21108H21104极限压力(Pa/Torr)<110-6/…

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Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TG1100F

Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TG1100F


型号TG1100FTG1100F*A*-60/TG1100F*W*
吸气口法兰VG200/ISO-B200/CF200
排气速度N2 (L/s)1100
N2(附带金属保护网) (L/s)1000
H2 (L/s)720
最大压缩比N21×108
H21×104
极限压力(Pa/Torr)<1×10-6/<7.5×10-9
最大气体流量※1※2(sccm)330860
启动时间※2(min) 7-95.5-7
停止时间※2(min) 27-3212-15
允许辅助压力(Pa/Torr)330/2.5
推荐辅助泵(L/min)≧250
安装角度任意
重量VG・ISO-B/CF(kg) 28/27
控制器型号TC1104TC1103※3