Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG1400FOsaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG1400F型号TG1400F吸气口法兰 VG200/ISO-B200/CF200排气速度N2 (L/s)1400N2(保護金網付) (L/s)1300H2 (L/s)750最大压缩比 N21108H24.3103极限压力(Pa/Torr)<110-6/<7.510-9最大气体流量※…
Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG1400F
Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG1400F
| 型号 | TG1400F | |
| 吸气口法兰 | VG200/ISO-B200/CF200 | |
| 排气速度 | N2 (L/s) | 1400 |
| N2(保護金網付) (L/s) | 1300 | |
| H2 (L/s) | 750 | |
| 最大压缩比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 4.3×103 | |
| 极限压力 | (Pa/Torr) | <1×10-6/<7.5×10-9 |
| 最大气体流量※1 | (sccm) | 450 |
| 启动时间 | (min) | 5.5-7 |
| 停止时间 | (min) | 15-18 |
| 允许辅助压力 | (Pa/Torr) | 330/2.5 |
| 推荐辅助泵 | (L/min) | ≧250 |
| 安装角度 | 任意 | |
| 重量 | VG・ISO-B/CF(kg) | 29/30 |
| 控制器型号 | TC1103 | |