Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG420M

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Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG420M

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Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG420MOsaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG420M吸气口法兰VG150CF160ISO-B160排气速度N2 (L/s)400N2(附加金属保护网) (L/s)370H2 (L/s)300最大压缩比N21108　H24.5103　极限压力VG・ISO-B/CF (Pa)<110-6 / <110-7　VG・ISO-B/CF (…

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Product Detail

Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TG420M

Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TG420M


吸气口法兰VG150
CF160
ISO-B160
排气速度N2 (L/s)400
N2(附加金属保护网) (L/s)370
H2 (L/s)300
最大压缩比N21×108　
H24.5×103　
极限压力VG・ISO-B/CF (Pa)<1×10-6 / <1×10-7　
VG・ISO-B/CF (Torr)<7.5×10-9 / <7.5×10-10
最大气体流量※1N2 (sccm)2000
启动时间(min) 2~3
停止时间(min)4~5
允许辅助压力(Pa / Torr)400 / 3　
推荐辅助泵(L/min)≧160
安装角度任意
重量VG･ISO-B/CF(kg)  14/17
特殊规格
(详情请咨询销售人员。)		-耐腐蚀型
-耐反应生成物型 TG-MI
-极低振动型 TG-ML