Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG2400MOsaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG2400M吸气口法兰VG250ISO-B250排气速度N2 (L/s)2400N2(附加金属保护网) (L/s)2300H2 (L/s)1100最大压缩比N21108 H21.4103极限压力VG・ISO-B (Pa/Torr)<110-6 / <7.510-9 最大气体流量※…
Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG2400M
Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG2400M
| 吸气口法兰 | VG250 ISO-B250 | |
| 排气速度 | N2 (L/s) | 2400 |
| N2(附加金属保护网) (L/s) | 2300 | |
| H2 (L/s) | 1100 | |
| 最大压缩比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 1.4×103 | |
| 极限压力 | VG・ISO-B (Pa/Torr) | <1×10-6 / <7.5×10-9 |
| 最大气体流量※1 | N2 (sccm) | 3000 |
| 启动时间 | (min) | 4~5 |
| 停止时间 | (min) | 4~5 |
| 允许辅助压力 | (Pa / Torr) | 200 / 1.5 |
| 推荐辅助泵 | (L/min) | ≧500 |
| 安装角度 | 任意 | |
| 重量 | (kg) | 45 |
| 特殊规格 (详情请咨询销售人员。) | -耐腐蚀型 -耐反应生成物型 TG-MI | |