Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG390MLOsaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG390ML TG390MLTG420MLTG900MLTG1300ML吸气口法兰VG100CF100ISO-B100VG150CF160ISO-B160VG150CF160ISO-B160VG200CF200ISO-B200排气速度N2 (L/s)3404009001300N2 (附加金属保护网)(L/s)32037086…
Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG390ML
Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG390ML
| TG390ML | TG420ML | TG900ML | TG1300ML | ||
| 吸气口法兰 | VG100 CF100 ISO-B100 | VG150 CF160 ISO-B160 | VG150 CF160 ISO-B160 | VG200 CF200 ISO-B200 | |
| 排气速度 | N2 (L/s) | 340 | 400 | 900 | 1300 |
| N2 (附加金属保护网)(L/s) | 320 | 370 | 860 | 1230 | |
| H2 (L/s) | 290 | 300 | 1050 | 1200 | |
| 最大压缩比 | N2 | 1×108 | |||
| H2 | 4.5×103 | 1.5×104 | |||
| 极限压力 | VG・ISO-B/CF (Pa) | < 1×10-6/< 1×10-7 | |||
| VG・ISO-B/CF (Torr) | < 7.5×10-9/< 7.5×10-10 | ||||
| 启动时间 (min) | 2-3 | 4-5 | |||
| 停止时间 (min) | 4-5 | ||||
| 允许辅助压力 | (Pa) | 400 | 500 | ||
| (Torr) | 3 | 3.8 | |||
| 推荐辅助泵 (L/min) | ≧160 | ≧250 | |||
| 重量 (kg) VG・ISO-B/CF | 14/17 | 34/42 | |||
| 控制器型号 | TC010MA | ||||