Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG1300MU

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Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG1300MU

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Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG1300MUOsaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG1300MUTG900MUTG1300MU吸气口法兰CF160CF200排气速度N2(L/s)9001300N2(附带金属保护网)(L/s)8601230H2(L/s)10501200最大压缩比N21108H26.0104极限压力(Pa/Torr)< 110-8/< 7.510-11最大…

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Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TG1300MU

Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TG1300MU



TG900MUTG1300MU
吸气口法兰CF160CF200
排气速度N2(L/s)9001300
N2(附带金属保护网)(L/s)8601230
H2(L/s)10501200
最大压缩比N21×108
H26.0×104
极限压力(Pa/Torr)< 1×10-8/< 7.5×10-11
最大气体流量※1N2 (sccm)3000
启动时间(min)4-5
停止时间(min)4-5
允许辅助压力(Pa/Torr)500/3.8
推荐辅助泵(L/min)≧250
重量(kg)42
控制器型号TC010MA

  • ※1：辅助泵的容量是1000L/min情况下的容许最大流量

  • ※2：外观尺寸图和标准形相同。