Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG203

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Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG203

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Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG203Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG203吸气口法兰VG100CF100ISO-R100抽气速度N2 (L/s)200N2(附带金属保护网 (L/s)140H2 (L/s)150最大压缩比N21108H24103极限压力VG・ISO-R/CF (Pa)<110-6/ < 110-7VG・ISO-R/CF (Torr)<7.…

产品详情

Product Detail

Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TG203

Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TG203

吸气口法兰VG100
CF100
ISO-R100
抽气速度N2 (L/s)200
N2(附带金属保护网 (L/s)140
H2 (L/s)150
最大压缩比N21×108
H24×103
极限压力VG・ISO-R/CF (Pa)<1×10-6/ < 1×10-7
VG・ISO-R/CF (Torr)<7.5×10-9/< 7.5×10-10
最大气体流量※1N2 (sccm)543
启动时间(min) 4-6
停止时间(min)4-6
允许辅助压力(Pa / Torr)550/4.1
推荐辅助泵(L/min)80
润滑油量(mL)70
安装角度垂直（±10°）
重量(kg)11