Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG553

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Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG553

Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG553

Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG553Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG553吸气口法兰VG150CF160ISO-B160抽气速度N2 (L/s)550N2(附带金属保护网） (L/s)430H2 (L/s)370最大压缩比N21108H23103极限压力VG・ISO-B/CF (Pa)<110-6/ < 110-7VG・ISO-B/CF (Torr)<…

产品详情

Product Detail

Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TG553

Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TG553


吸气口法兰VG150
CF160
ISO-B160
抽气速度N2 (L/s)550
N2(附带金属保护网） (L/s)430
H2 (L/s)370
最大压缩比N21×108
H23×103
极限压力VG・ISO-B/CF (Pa)<1×10-6/ < 1×10-7
VG・ISO-B/CF (Torr)<7.5×10-9/< 7.5×10-10
最大气体流量※1N2 (sccm)1500
启动时间(min) 8-13
停止时间(min)8-11
允许辅助压力(Pa / Torr)300/2.3
推荐辅助泵(L/min)250
润滑油量(mL)260
安装角度垂直（±10°）
重量(kg)41
控制器型号TC553

  • ※1：辅助泵的容量是500L/min情况下的最大容许流量

  • [ 使用环境温度]

  • 极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。

  • [ 对应气体种类 ]

  • 由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。