Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG1303

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Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG1303

Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG1303

Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG1303Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG1303吸气口法兰VG200CF200ISO-B200抽气速度N2 (L/s)1300N2(附带金属保护网) (L/s)1100H2 (L/s)1000最大压缩比N21108H24103极限压力VG・ISO-B/CF (Pa)<110-6/ < 110-7VG・ISO-B/CF (Torr)…

产品详情

Product Detail

Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TG1303

Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TG1303


吸气口法兰VG200
CF200
ISO-B200
抽气速度N2 (L/s)1300
N2(附带金属保护网) (L/s)1100
H2 (L/s)1000
最大压缩比N21×108
H24×103
极限压力VG・ISO-B/CF (Pa)<1×10-6/ < 1×10-7
VG・ISO-B/CF (Torr)<7.5×10-9/< 7.5×10-10
最大气体流量※1N2 (sccm)2715
启动时间(min) 9-12
停止时间(min)9-13
允许辅助压力(Pa / Torr)300/2.3
推荐辅助泵(L/min)500
润滑油量(mL)260
安装角度垂直（±10°）
重量(kg)50

  • ※1：辅助泵的容量是1000L/min情况下的最大容许流量

  • [ 使用环境温度]

  • 极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。

  • [ 对应气体种类 ]

  • 由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。