Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG3213

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Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG3213

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Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG3213Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG3213吸气口法兰VG300ISO-B320抽气速度N2 (L/s)3200N2(附带金属保护网) (L/s)3000H2 (L/s)2500最大压缩比N21108H26103极限压力VG・ISO-B (Pa/Torr)<110-6/ <7.510-9最大气体流量※1N2 (sc…

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Product Detail

Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TG3213

Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TG3213


吸气口法兰VG300
ISO-B320
抽气速度N2 (L/s)3200
N2(附带金属保护网) (L/s)3000
H2 (L/s)2500
最大压缩比N21×108
H26×103
极限压力VG・ISO-B (Pa/Torr)<1×10-6/ <7.5×10-9
最大气体流量※1N2 (sccm)543
启动时间(min) 10-15
停止时间(min)25-30
允许辅助压力(Pa / Torr)270/2
推荐辅助泵(L/min)1500
润滑油量(mL)260
安装角度垂直（±10°）
重量(kg)100

  • ※1：辅助泵的容量是3000L/min情况下的最大容许流量

  • [ 使用环境温度]

  • 极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。

  • [ 对应气体种类 ]

  • 由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。