Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG5003

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Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG5003

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Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG5003Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TG5003吸气口法兰VG450抽气速度N2 (L/s)5000N2(附带金属保护网) (L/s)4700H2 (L/s)4000最大压缩比N21108H25103极限压力VG (Pa/Torr)<110-6/ <7.510-9最大气体流量※1N2 (sccm)1200启动时间…

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Product Detail

Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TG5003

Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TG5003

吸气口法兰VG450
抽气速度N2 (L/s)5000
N2(附带金属保护网) (L/s)4700
H2 (L/s)4000
最大压缩比N21×108
H25×103
极限压力VG (Pa/Torr)<1×10-6/ <7.5×10-9
最大气体流量※1N2 (sccm)1200
启动时间(min) 25-35
停止时间(min)30-40
允许辅助压力(Pa / Torr)200/1.5
推荐辅助泵(L/min)1500
润滑油量(mL)1000
安装角度垂直（±10°）
重量(kg)250

  • ※1：辅助泵的容量是3000L/min情况下的最大容许流量

  • [ 使用环境温度]

  • 极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。

  • [ 对应气体种类 ]

  • 由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。