Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TS50

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Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TS50

Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TS50

Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TS50Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TS50吸气口法兰VG100CF100ISO-R100抽气速度N2 (L/s)25N2 (附带金属保护网) (L/s)23H2 (L/s)13最大压缩比N22106H250最大气体流量※1、※2N2 (sccm)600启动时间(min)2.5～3.5停止时间(min)2.5～5极限…

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Product Detail

Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TS50

Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TS50


吸气口法兰VG100
CF100
ISO-R100
抽气速度N2 (L/s)25
N2 (附带金属保护网) (L/s)23
H2 (L/s)13
最大压缩比N22×106
H250
最大气体流量※1、※2N2 (sccm)600
启动时间(min)2.5～3.5
停止时间(min)2.5～5
极限压力※3(Pa）< 1×10-4
(Torr）< 7.5×10-7
允许辅助压力(Pa）1200
(Torr）9
推荐辅助泵(L/min)≧80
安装角度正立（±10°）
重量(kg)11

 

※1：1Pa・L/s(25℃)=0.543sccm(0℃、1气压)
※2：辅助泵的容量是160L/min情况下的最大容许流量
※3：48小时烘烤后得到的数值。