Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TS443

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Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TS443

Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TS443

Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TS443Osaka Vacuum大阪真空 分子泵 TS443吸气口法兰VG150CF160ISO-B160抽气速度N2 (L/s)440N2 (附带金属保护网) (L/s)410H2 (L/s)320最大压缩比N22106H21103最大气体流量※1、※2N2 (sccm)10860启动时间(min)10～14停止时间(min)23～…

产品详情

Product Detail

Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TS443

Osaka Vacuum大阪真空   分子泵   TS443



吸气口法兰VG150
CF160
ISO-B160
抽气速度N2 (L/s)440
N2 (附带金属保护网) (L/s)410
H2 (L/s)320
最大压缩比N22×106
H21×103
最大气体流量※1、※2N2 (sccm)10860
启动时间(min)10～14
停止时间(min)23～28
极限压力※3(Pa）< 1×10-5
(Torr）< 7.5×10-8
允许辅助压力(Pa）2000
(Torr）15
推荐辅助泵(L/min)≧500
安装角度正立（±10°）
重量(kg)60

 

※1：1Pa・L/s(25℃)=0.543sccm(0℃、1气压)
※2：辅助泵的容量是1000L/min情况下的最大容许流量
※3：48小时烘烤后得到的数值。