MUSASHI武藏 FAD5700-WH 全自动涂布装置

产品目录

MUSASHI武藏 FAD5700-WH 全自动涂布装置MUSASHI武藏 FAD5700-WH 全自动涂布装置开拓晶圆处理新时代的集成解决方案用晶圆数组对应软件重新映射生产、丝线检查的结果(符合SECS/GEM)・最先进的半导体工艺(WLP/芯片Let/异种芯片集成)对应・行业最高水平的KOZ可实现涂布・可与…

MUSASHI武藏 FAD5700-WH 全自动涂布装置

开拓晶圆处理新时代的集成解决方案
用晶圆数组对应软件重新映射生产、丝线检查的结果(符合SECS/GEM)

・最先进的半导体工艺(WLP/芯片Let/异种芯片集成)对应
・行业最高水平的KOZ可实现涂布
・可与EFEM连接的全部自动生产

・多头部独立控制,涂布重量自动辅助功能装载。
・为省人化做出贡献的最新UI。

・不停止连续动作的高速对准:
・不停止连续动作的高度测量:
・涂布量自动化:DVM机能
・防止大量不良于未然:AFC机能
・韦赫、FOUP应对
・晶圆映射功能
・结果重新映射(SECSGEM对应) ※选配项

EFEM是晶圆的加载、卸载进行模块机器,负责从收纳晶圆的钩子(FOUP:Fonform Unified Pod)和被称为晶圆盒式的容器中,一边保持清洁室的标准,一边自动取出晶圆,运到工艺装置中有。

名称

DISPENS MASTER

型号

FAD5700-WH

控制方式

PC/PLC控制(符合SMEMA)

产品目录

MUSASHI武藏 FAD5700-WH 全自动涂布装置

产品详情