MUSASHI武藏 FAD5100S-WH 全自动涂布装置

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MUSASHI武藏 FAD5100S-WH 全自动涂布装置

MUSASHI武藏 FAD5100S-WH 全自动涂布装置

MUSASHI武藏 FAD5100S-WH 全自动涂布装置MUSASHI武藏 FAD5100S-WH 全自动涂布装置高精度晶圆管理解决方案用晶圆数组对应软件重新映射生产、丝线检查的结果(符合SECS/GEM)・ 不停止连续动作的高速涂布・ 不停止连续动作的高速对准:・ 涂布量自动化:DVM机能・ 形成理想的…

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Product Detail

MUSASHI武藏  FAD5100S-WH 全自动涂布装置

MUSASHI武藏  FAD5100S-WH 全自动涂布装置

高精度晶圆管理解决方案
用晶圆数组对应软件重新映射生产、丝线检查的结果(符合SECS/GEM)

・ 不停止连续动作的高速涂布
・ 不停止连续动作的高速对准:
・ 涂布量自动化:DVM机能
・ 形成理想的涂布模式“叶线”:MCD机能[PAT.P]
・ 防止大量不良于未然:AFC机能
・晶圆映射功能搭载
・可与EFEM连接的全部自动生产
・韦赫、FOUP应对
・晶圆映射功能
・结果重新映射(SECSGEM对应) ※选配项

EFEM是晶圆的加载、卸载进行模块机器,负责从收纳晶圆的钩子(FOUP:Fonform Unified Pod)和被称为晶圆盒式的容器中,一边保持清洁室的标准,一边自动取出晶圆,运到工艺装置中有。

名称
全自动晶圆级点胶赛车FAD5100S-WH
型号
FAD5100S-WH
控制方式
PC/PLC控制(符合SMEMA)
适用工件台
12“韦赫,8”韦赫