KOKUSAN科库森 分离器 H840SA

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KOKUSAN科库森   分离器   H840SA

KOKUSAN科库森 分离器 H840SA

KOKUSAN科库森 分离器 H840SAKOKUSAN科库森 分离器 H840SA特点与应用该设备在半导体行业的晶圆干燥设备中拥有悠久的历史。离心力和气流使工件排水和干燥。托架升降机构自动抬起托盘。 主要规格电源交流电200V 3φ 50/60Hz 15A驱动空气0.5Mpa(5公斤/厘米)2)最大…

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KOKUSAN科库森   分离器   H840SA

KOKUSAN科库森   分离器   H840SA



特点与应用

该设备在半导体行业的晶圆干燥设备中拥有悠久的历史。
离心力和气流使工件排水和干燥。
托架升降机构自动抬起托盘。

 主要规格

电源交流电200V 3φ 50/60Hz 15A
驱动空气0.5Mpa(5公斤/厘米)2)
最大吞吐量2艘6英寸航母×2艘或4艘5英寸或更小的航母×
允许载重每个托架的载重在2000克以内
ULPA滤波器是的
离子器是的
控制PLC与逆变器
运营部门按钮开关
转速1000转/分
(正常速度800转/分)
发动机变频电机
尺寸800(W)×990(D)×1004(H)毫米
盖开口高度1528(H)毫米
重量180公斤



品牌

所属国

主营产品

对应行业

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CCS晰写速

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