KOKUSAN科库森分离器 SPD-180

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KOKUSAN科库森分离器 SPD-180KOKUSAN科库森分离器 SPD-180特点与应用该设备在半导体行业中长期作为晶圆干燥设备使用。离心力和空气通过ULPA滤网的流动会清洁、排空并干燥工件。主要规格电源交流电200V 3φ 50/60Hz 8A驱动空气0.3MPA（3公斤/厘米）2)最大吞吐量…

KOKUSAN科库森分离器 SPD-180

特点与应用

该设备在半导体行业中长期作为晶圆干燥设备使用。
离心力和空气通过ULPA滤网的流动会清洁、排空并干燥工件。

主要规格

电源	交流电200V 3φ 50/60Hz 8A
驱动空气	0.3MPA（3公斤/厘米）2)
最大吞吐量	8英寸×25张载具，1载板
ULPA滤波器	是的
离子器	是的
控制	PLC与逆变器
运营部门	触摸面板
驾驶配方注册数量	5种类型
转速	3500转/分钟（最高5英寸，6英寸及以上转速为3000转/分钟）
发动机	变频电机
尺寸	652（W）×1135（D）×1080（H）毫米带盖开口高度1352（H）毫米
重量	110公斤

品牌	所属国	主营产品	对应行业
EYE岩崎	日本	UV固化灯管、照度计、紫外线清洗机等	光电/半导体等行业
SEN日森	日本	表面处理装置、光化学反应装置、UV硬化装置、紫外线清洗灯等	食品/养殖/医疗/等行业
CCS晰写速	日本	环形光源、点面光源、条形光源、LED光源机等	大学院校/实验室、自动化设备、人工智能等行业
NPM日脉	日本	运动控制芯片/旋转（直线）步进马达/驱动器/磁轴直线电机/纳米级高精度定位平台模组等	3C半导体行业、智能制造、流体控制、数控机床、电子、汽车、医疗、及院校科研等行业
REVOX莱宝克斯	日本	LED线光源装置、光纤用光源装置、影像处理设备、大功率线激光、LED频闪控制器	半导体、大学机构等
SERIC索莱克	日本	人工太阳照射灯、光环境模拟器等	半导体行业、医疗行业、汽车行业、电子行业、食品行业等
SONIC索尼克	日本	超声波风速计、隧道风速计、积雪风速计、超声波气体流量计、超声波液体流量计、超声波室内风速计	半导体行业、气象政府部门、金属加工行业、物流港口业、大学高校研究所

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