HORIBA堀场 液态材料汽化系统 MV-2000

产品目录

HORIBA堀场   液态材料汽化系统   MV-2000

HORIBA堀场 液态材料汽化系统 MV-2000

HORIBA堀场 液态材料汽化系统 MV-2000HORIBA堀场 液态材料汽化系统 MV-2000模型MV-2000兼容的液体类型不包括腐蚀不锈钢的液体,如盐酸、氢氟酸等。设定温度根据蒸发条件(控制阀:最大140C 蒸发器:最大200C)泄漏标准1 10-8 Pam3/s(He)或更低内部泄漏标准1 10…

产品详情

Product Detail

HORIBA堀场   液态材料汽化系统   MV-2000

HORIBA堀场   液态材料汽化系统   MV-2000



模型MV-2000
兼容的液体类型不包括腐蚀不锈钢的液体,如盐酸、氢氟酸等。
设定温度根据蒸发条件(控制阀:最大140°C 蒸发器:最大200°C)
泄漏标准1× 10-8 Pa·m3/s(He)或更低
内部泄漏标准1× 10-6 Pa·m³/s(He)或更低
气体接触部件材料SUS316L,PFA
工作温度传感器热电偶K型(CA)
耐压1MPa(G)
标准配件液体进气口:1/8 VCR 类型公头,载气入口:1/4 VCR 类型母头,燃气出口:1/2 VCR 公头
可用环境温度15 ~ 50°C
选项气动阀(内部泄漏标准:1× 10-9 Pa·m³/s(氦)或更低)