HORIBA堀场 液态材料汽化系统 MV-2000HORIBA堀场 液态材料汽化系统 MV-2000模型MV-2000兼容的液体类型不包括腐蚀不锈钢的液体,如盐酸、氢氟酸等。设定温度根据蒸发条件(控制阀:最大140C 蒸发器:最大200C)泄漏标准1 10-8 Pam3/s(He)或更低内部泄漏标准1 10…
HORIBA堀场 液态材料汽化系统 MV-2000
HORIBA堀场 液态材料汽化系统 MV-2000
| 模型 | MV-2000 |
|---|---|
| 兼容的液体类型 | 不包括腐蚀不锈钢的液体,如盐酸、氢氟酸等。 |
| 设定温度 | 根据蒸发条件(控制阀:最大140°C 蒸发器:最大200°C) |
| 泄漏标准 | 1× 10-8 Pa·m3/s(He)或更低 |
| 内部泄漏标准 | 1× 10-6 Pa·m³/s(He)或更低 |
| 气体接触部件材料 | SUS316L,PFA |
| 工作温度传感器 | 热电偶K型(CA) |
| 耐压 | 1MPa(G) |
| 标准配件 | 液体进气口:1/8 VCR 类型公头,载气入口:1/4 VCR 类型母头,燃气出口:1/2 VCR 公头 |
| 可用环境温度 | 15 ~ 50°C |
| 选项 | 气动阀(内部泄漏标准:1× 10-9 Pa·m³/s(氦)或更低) |