HORIBA堀场 液态材料汽化系统 H2O 2SLM

产品目录

HORIBA堀场 液态材料汽化系统 H2O 2SLM

HORIBA堀场 液态材料汽化系统 H2O 2SLM

HORIBA堀场 液态材料汽化系统 H2O 2SLMHORIBA堀场 液态材料汽化系统 H2O 2SLM产生流量H2O 2SLM、TEOS 600SCCM（最大）工作压力最大：1.33kPa源罐容量2.7L温度控制方法通过恒温器控制PID。液位检测方法浮子开关内置质量流量控制器SEC-8400系列气动阀门风箱型，隔膜…

产品详情

Product Detail

HORIBA堀场   液态材料汽化系统   H2O 2SLM

HORIBA堀场   液态材料汽化系统   H2O 2SLM



产生流量H2O 2SLM、TEOS 600SCCM（最大）
工作压力最大：1.33kPa
源罐容量2.7L
温度控制方法通过恒温器控制PID。
液位检测方法浮子开关
内置
质量流量控制器		SEC-8400系列
气动阀门风箱型，隔膜型
湿润和气体部件材料SUS-316L，宾夕法尼亚号
工作环境温度20〜35°C
外部输入气动阀开闭
质量流量控制器流量设定信号（0-5VDC/0-100%F.S.）
紧急停止信号，自动零点信号（可选）
外部输出车身预热完成信号温度报警液位高频报警
液位信号（H、M、L）、质量
流量控制器流量输出信号（0-5伏直流/0-100%华氏度） 恒温室内部风扇停止报警阀
电压监测器（可选）
电源交流100伏单相50/60赫兹，1.5千伏安
其他自动充电系统：可连接LU系列。