HORIBA堀场 自动晶圆检测设备 PLATO

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HORIBA堀场 自动晶圆检测设备 PLATOHORIBA堀场 自动晶圆检测设备 PLATO光源紫外线213纳米,266纳米,325纳米可视性375纳米,405纳米,532纳米尼尔980纳米,1064纳米测量项目DBR测量可见光范围,近红外范围船首测量10~1000激光标记CE-CoC、CE-DoC、KCs、S-Mark蓝宝…

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HORIBA堀场   自动晶圆检测设备   PLATO

HORIBA堀场   自动晶圆检测设备   PLATO



光源紫外线213纳米,266纳米,325纳米
可视性375纳米,405纳米,532纳米
尼尔980纳米,1064纳米
测量项目DBR测量可见光范围,近红外范围
船首测量10~1000
激光标记CE-CoC、CE-DoC、KCs、S-Mark蓝宝石,Si,GaAs。
晶圆转印机器人类型单臂,双臂
盒式磁带映射传感器
晶圆尺寸半标准 2“、3”、4“、6”、8“、12”
磁带类型开放式磁带、SMIF、FOUP
识别晶圆识别读取器,磁带识别识别器
认证CE-CoC、CE-DoC、KCs、S-Mark
等等。SECS/GEM