HORIBA堀场 自动晶圆检测设备 PLATOHORIBA堀场 自动晶圆检测设备 PLATO光源紫外线213纳米,266纳米,325纳米可视性375纳米,405纳米,532纳米尼尔980纳米,1064纳米测量项目DBR测量可见光范围,近红外范围船首测量10~1000激光标记CE-CoC、CE-DoC、KCs、S-Mark蓝宝…
HORIBA堀场 自动晶圆检测设备 PLATO
HORIBA堀场 自动晶圆检测设备 PLATO
| 光源 | 紫外线 | 213纳米,266纳米,325纳米 |
|---|---|---|
| 可视性 | 375纳米,405纳米,532纳米 | |
| 尼尔 | 980纳米,1064纳米 | |
| 测量项目 | DBR测量 | 可见光范围,近红外范围 |
| 船首测量 | 10~1000 | |
| 激光标记 | CE-CoC、CE-DoC、KCs、S-Mark | 蓝宝石,Si,GaAs。 |
| 晶圆转印 | 机器人类型 | 单臂,双臂 |
| 盒式磁带映射传感器 | ||
| 晶圆尺寸 | 半标准 2“、3”、4“、6”、8“、12” | |
| 磁带类型 | 开放式磁带、SMIF、FOUP | |
| 识别 | 晶圆识别读取器,磁带识别识别器 | |
| 认证 | CE-CoC、CE-DoC、KCs、S-Mark | |
| 等等。 | SECS/GEM | |