HORIBA堀场 自动晶圆检测设备 PLATO-MicroScan

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HORIBA堀场 自动晶圆检测设备 PLATO-MicroScan

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HORIBA堀场 自动晶圆检测设备 PLATO-MicroScanHORIBA堀场 自动晶圆检测设备 PLATO-MicroScan特色：微型PL映射系统空间分辨率：1微米无需硬件改装即可兼容2-8英寸微型PL映射功能自动对焦功能带有对齐键的微调函数物镜（5）：用于显微PL映射和调整目标（10，20）：…

产品详情

Product Detail

HORIBA堀场   自动晶圆检测设备   PLATO-MicroScan

HORIBA堀场   自动晶圆检测设备   PLATO-MicroScan


特色：

  • 微型PL映射系统

  • 空间分辨率：1微米

  • 无需硬件改装即可兼容2-8英寸

  • 微型PL映射功能

  • 自动对焦功能

  • 带有对齐键的微调函数

  • 物镜（5×）：用于显微PL映射和调整

  • 目标（10×，20×）：用于显微镜PL映射

  • 最多可安装4个激光通道

  • 提供532、785、980和1064纳米激光头