HORIBA堀场 自动晶圆检测设备 PLIMA-LED

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HORIBA堀场 自动晶圆检测设备 PLIMA-LED

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HORIBA堀场 自动晶圆检测设备 PLIMA-LEDHORIBA堀场 自动晶圆检测设备 PLIMA-LEDPL图像检测项目：- 强度：高/低/无信号- 芯片亮度：平均/总亮度- 标准差/变异系数（CV）笔尖尺寸≥10微米，间距≥20微米，间隙≥3.5微米 AOI检测表面缺陷、裂纹、图案错位和错位最小…

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Product Detail

HORIBA堀场   自动晶圆检测设备   PLIMA-LED

HORIBA堀场   自动晶圆检测设备   PLIMA-LED



  • PL图像

    • 检测项目：
      - 强度：高/低/无信号
      - 芯片亮度：平均/总亮度
      - 标准差/变异系数（CV）

    • 笔尖尺寸≥10微米，间距≥20微米，间隙≥3.5微米
       

  • AOI

    • 检测表面缺陷、裂纹、图案错位和错位

    • 最小可探测探测针尖尺寸：1.5微米

    • 基于AOI和PL信息实现复杂判断
       

  • 频谱分析

    • 关键光谱参数：
      - Wp（峰值波长）
      - FWHM（半宽）
      - II（整强度），ip（峰值强度）

    • 音高分辨率
      - 0.5毫米（4英寸晶圆）、1.0毫米（6英寸晶圆）、2.0毫米（8英寸晶圆）