HORIBA堀场 自动晶圆检测设备 OPM-300T

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HORIBA堀场 自动晶圆检测设备 OPM-300THORIBA堀场 自动晶圆检测设备 OPM-300T特色：多孔样品装载托盘（320320毫米）系统 自动插槽/位置移动，全轴伺服电机驱动，可变迎射角调整（胶片/玻璃光学滤镜：300T系列0-45，300R系列5-35）每次测量的自动参考检查功能（空…

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Product Detail

HORIBA堀场   自动晶圆检测设备   OPM-300T

HORIBA堀场   自动晶圆检测设备   OPM-300T



特色：

  • 多孔样品装载托盘（320×320毫米）系统 自动插槽/位置移动，全
    轴伺服电机驱动，可变迎射角调整（胶片/玻璃光学滤镜：300T系列0-45°，300R系列5-35°）

  • 每次测量的自动参考检查功能（空气用于T%测量，已知高低样品用于抗血率测量）

  • 通过在 R% 结果图上叠加用户预设规格，支持产品质量判断

  • 高速X-Y映射能力，确保样品区域的均匀性

  • OPM系列专用的“反向入射角校正”功能：校正板面变形引起的入射角误差，防止波长断定误差

  • 不含样品行程时间的近似战术时间：每个测量点约2秒（OPM-300T），约1秒（OPM-300T-IRBF/OPM-300R）

模型OPM-300TOPM-300T-IRBFOPM-300R
H/W 将军多采样加载系统
四轴电动级（XY，托盘，R）五轴电动级
（XY，托盘，R1，R2）
自动可调入角
（AOI可变于300T、300T-IRBF：0-45°，300R：5-35°之间）
可测量范围350-1300 nm800-1100 nm380-800 nm
CCD像素色散第一档：约0.43纳米
第二档（1100纳米~）：约2.34纳米		约0.2纳米约0.21纳米
光源紫外线灯，钨卤素灯钨卤素灯
测量项目T（R）n%处的波长，n波长
下的T（R）%，T（R）平均/最大/最小波长，斜率，不同入射角的Δ波长
重复性 /
可重复性		与λ相关项目：
第1≤±0.3纳米，第2批（仅300吨）≤±1纳米
相关于T%项目：≤±0.4%		与λ相关
项：1 ≤±0.3 nm
与R%
项相关 ≤±0.25%
S/W 将军、工程师、维护模式
按用户配方实现映射与多点测量功能
测量卡帕。
（1点/滤波器，1个角度）		每月约216,000件（24小时×30天）
作
环境		地点：无尘室（班级-10,000）
15-35°C
< 85%相对湿度且无冷凝水
尺寸（WxDxH）1230 x 1515 x 1142 毫米1550 x 1515 x 1142 毫米
重量约<400公斤约<450公斤
功率规格。单相，220伏，15安培