HORIBA堀场 光罩异物检测 PD10

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HORIBA堀场 光罩异物检测 PD10

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HORIBA堀场 光罩异物检测 PD10HORIBA堀场 光罩异物检测 PD10 异质检测与去除工艺的整合提升工作效率和产量异物去除率达到或超过95%※2我们的RP-1自动准星/掩膜异物清除装置的功能已集成于PD10。 现在可以自动完成从异物检测到移除的所有作。 它还配备了多端口，可…

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HORIBA堀场   光罩异物检测   PD10

HORIBA堀场   光罩异物检测   PD10


 异质检测与去除工艺的整合提升工作效率和产量

异物去除率达到或超过95%※2我们的RP-1自动准星/掩膜异物清除装置的功能已集成于PD10。 现在可以自动完成从异物检测到移除的所有作。 它还配备了多端口，可以同时设置两组准星/遮罩壳，实现连续的异物检测和移除。

*2 内部测试结果，使用5微米玻璃珠附着于玻璃表面。 效果可能因使用方式和条件而异。


 

2. 通过与自动输送设备连接，促进制造过程的自动化和省力

我们开发了自有的设备前端模块（EFEM），用于半导体制造厂中与架空吊运（OHT）连接。 我们可以灵活响应客户的需求，推动自动化和节省劳动力，这对提高生产力、消除劳动力短缺和缩减制造区至关重要。