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HORIBA堀场 等离子监测仪 RU-1000
HORIBA堀场 等离子监测仪 RU-1000HORIBA堀场 等离子监测仪 RU-1000使用等离子体发射控制器RU-1000来提高沉积速率。通过控制过渡区的反应性气体，而非反应性气体的定量供给方法，沉积速率可以提高数倍。通过将多个等离子体发射强度传感器安装在宽基底上，并利用这…
产品详情
Product Detail
HORIBA堀场 等离子监测仪 RU-1000
HORIBA堀场 等离子监测仪 RU-1000
使用等离子体发射控制器RU-1000来提高沉积速率。通过控制过渡区的反应性气体，而非反应性气体的定量供给方法，沉积速率可以提高数倍。
通过将多个等离子体发射强度传感器安装在宽基底上，并利用这些信号高速控制反应气体，可以实现极为均匀的薄膜沉积。
等离子体排放控制器RU-1000是一款由专注于光学技术的堀叶制造和拥有优异气体控制技术的堀叶Estech生产的国产产品，拥有优异的售后服务。
制造商特点
在等离子体发射控制器的制造中，堀叶制造株式会社负责测量等离子体发射强度的基本光学设计，堀叶ESTEC株式会社负责设计高速反应性气体流量的功能部件。堀叶制造株式会社是汽车废气分析仪、薄膜测量以及物理化学分析领域的领先企业，由于这些分析技术的基本原理属于光学测量技术，等离子体发射测量由该领域的顶尖企业负责。而反应性气体流量控制部分则由质量流量控制器（气体流量控制装置）制造商负责，这些设备在全球半导体制造设备中最为常见。等离子体排放控制器RU-1000将进一步挑战技术的进步，汇聚堀叶集团的精华技术。